響いてこそ技術 SINFONIA

お問い合わせ

半導体
200mmオープンカセットアダプタ NEW OPTION TO Smart SELOP-7(KIT-SELOP08C25-S7シリーズ) NEW
300mmウェーハ対応ロードポートで200mmのOC運用が可能!
特 長
1. FAB内での簡単な改造作業
改造ポイント
※概算改造時間(ロードポート1台当り):3時間
(1) セーフティカバー付きアダプタの設置
    (2) マッピングセンサーアームの変更
(200mm/300mmウェーハセンシングが可能)
(3) ウェーハ飛出センサーの変更
2. ウェーハ飛出し防止
(1) オペレータのウェーハ縦置き
    (2) ダンパー機能によるステージの旋回動作
3. 200mmOCアクセス中のカセット取出を防止
FOUPクランプ軸(SEMI準拠)を使用し、ステージクローズ時のカセットをクランプ
4. 対応カセット
カセット:200mmウェーハ対応25枚収納カセット
5. ウェーハマッピング可
(1) ロードポートSELOP-7で使用可能
    (2) 対応ウェーハ:200mm標準、及び薄型ウェーハ
オペレーションフロー
戻る