2009年4月1日、シンフォニアテクノロジーは、(旧)神鋼電機より社名を変更いたしました。
FAB内での簡単な改造作業
改造ポイント
※概算改造時間（ロードポート1台当り）：3時間
(１)
セーフティカバー付きアダプタの設置
(２)
マッピングセンサーアームの変更
（200mm/300mmウェーハセンシングが可能）
(３)
ウェーハ飛出センサーの変更
ウェーハ飛出し防止
(１)
オペレータのウェーハ縦置き
(２)
ダンパー機能によるステージの旋回動作
200mmOCアクセス中のカセット取出を防止
FOUPクランプ軸（SEMI準拠）を使用し、ステージクローズ時のカセットをクランプ
対応カセット
カセット：200ｍｍウェーハ対応25枚収納カセット
ウェーハマッピング可
(１)
ロードポートSELOP-7で使用可能
(２)
対応ウェーハ：200mm標準、及び薄型ウェーハ
