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SEMICON JAPAN2017

会 期 2017年12月13日(水)〜12月15日(金) 3日間
会 場 東京ビッグサイト
ブース位置 東5ホール No.5021

主な出展物
  • 真空プラットフォーム
  • N2 EFEM 真空リニア搬送装置
  • 200/150mm マルチカセット対応ロードポート
  • N2パージ仕様300mm FOUP対応ロードポートSELOP-8
  • 300/200mm 自動切り換え機能搭載ロードポート SELOP-7
  • LED/パワー半導体向け基板自動搬送装置(EFEM)
  • DDモータ
展示会公式サイト http://www.semiconjapan.org/