半导体设备

200mm标准机械界面(SMIF)的装载本組件 (SELOM系列)

使开口式晶圆提篮SMIF化的独创方法

特长

1.达到清洁等级1级(FFU任选)

通过适当的气流控制,确保装置内的清洁度

2.支持已有半新装置的SMIF化

根据装置的宽度和工作台数等,以及业绩,为用户准备了丰富多彩的系列产品

3.通过本公司独创的悬臂机器人实现了高效率搬运

根据需求进行运行模式设定;载入口/工作台之间交叉式搬运等

4.丰富的交货业绩

由于有用于各种装置的丰富业绩,从而有很高的可靠性

电缆 AC200V  50/60Hz、单相、1kVA
生产周期 装载/卸载:约65秒
机身重量

1)提蓝搬运机器人(X、Z、R、倾斜液压装置、卡紧轴)
2)SMIF开盒器
3)控制器
4)筐体(小环境)
5)台面定位用固定件

6)接口装置SEMI E23、E84、钢丝方式(任选)
开盒器规格 晶圆盒的打开方法 下开型
装载埠间距 340mm(S型为330mm)
晶圆盒卡紧部分 1处
传感器 1)有无晶圆盒传感器
2)门到位传感器
3)有无晶圆提蓝传感器
4)晶圆飞出传感器
装载/卸载开关 每个装载埠各一个
晶圆提蓝承载器规格 倾斜机构 倾斜角度90°(一个位置)
Z轴 工作范围 650mm
R軸 工作范围 ±400mm(N型为±460mm)
定位精度 ±0.5mm
任选 风机过滤器机组(FFU)

ULPA过滤器
尘埃收集率(at 0.1~0.2μm) 99.999%
额定风量 3.2m~3/min
外形尺寸 415W×292D×170H
安装套数 装置宽度900以内 1套

1340以内 2套
1340以上 3套
提篮、旋转台 外形尺寸 400W×450D×900H
转动角度 180°
CID读数装置 CID:ASYST
标记位置:晶圆盒右下方