半导体设备

NEW

300mm FOUP的载入口
Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

SELOP系列中的新型号!
由于采用了大型显示器,只用一台便可对应所有的半导体制造厂(Fab)!

特长

1.除尘

采用了独自的防止尘埃混入技术

2.高可靠性

  • (1)高生产率和优异的交货业绩
  • (2)在全球的300mm半导体工厂中广泛使用
  • (3)达到了平均故障间隔(MCBF)870,000转

3.广泛的互换性

  • (1)适用于各种FOUP(Entegris、Shin-Etsu、Asyst等)
  • (2)RS232C的指令控制

4.采用独自方式

高精度晶圆图形(Mapping)功能测试(晶圆片有/无、双、交叉)

5.提高了维修方便性

  • (1)以PC为基础的支持工具软件
  • (2)外包装采用了全树脂包装防止了损伤/污染
  • (3)通过驱动器的前面进入方式提高了维修方便性
  • (4)通信日志(Log)功能

6.简单方便的安装方法

  • (1)开盒器/装载埠到设备的标准接口(BOLTS)面的位置调整机构
  • (2)与头顶运输(OHT)对应的解除对接位置调整机构
  • (3)按标准装备了独立的搬运脚轮

7.对应广泛的任选

对应全球的最终用户

8.大型显示器

大型便于观察的显示器

9.也可对应于较短的准备时间