半导体设备

200mm 300mm

晶圆用低真空搬运机器人

低价格、高可靠性的半导体用低真空搬运机器人登场!

特长

1.是面向开工率高的低真空用途的廉价机

2.不用对原点的控制器主体型

3.与晶圆搬运系统EFEM组合可用于整体搬运系统

※可用于中度真空,也可用于两只机械手,高真空双臂式正在研制