半导体设备

300mmNEW

空气晶圆搬运用

水平多关节机器人(双臂)

特长

1.因为驱动装置内藏于机器人的体内
节省能源・节省配线

2.因为有长的手臂4LP为止可以对应

3.用两只手臂可以直接来调换晶圆

4.通过吸附晶圆可以高速搬运