半导体设备

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小环境系统 3LP+ EFEM(SELME系列)

活跃在全球的300mm半导体制造厂(Fab)中的昕芙旎雅的小环境系统。

特长

1.非吸附晶圆传输(清洁等级1)

抑制晶圆背面附着尘埃。

2.低振动传输(1.47m/sec2

X轴上采用了强力密度线性脉冲电机(LPM)。

3.省去下部印刷(最小旋转半径245mm)

尽量减少机器人最小旋转半径,实现了小型紧凑化设计。

4.高速度、高精度定位(±0.05mm)

采用了独自的硅片传输机器手。

5.自动校准(任选)

机器人更换时也不用重新示教。

6.用途可扩展到200mm晶圆和石英晶圆(任选)

各种晶圆对应方面取得的业绩。