半导体设备

NEW

200mm开放式晶圆传送盒适配器
NEW OPTION TO Smart SELOP-7
(KIT-SELOP08C25-S7系列)

300mm晶圆对应载入口 可运用200mm的OC!

特长

1.FAB内的简单改造作业

改造要点 ※概算改造时间(每1台载入口):3小时

  • (1)设置带安全罩的适配器
  • (2)变更定位传感器臂
    (可感应200mm/300mm晶圆)
  • (3)变更晶圆弹出传感器

2.防止晶圆弹出

  • (1)操作人员纵向放置晶圆
  • (2)带有制动功能的工作台旋转动作

3.防止在200mmOC存取过程中取出传送盒

工作台关闭时,使用FOUP夹钳轴(依据SEMI)夹紧传送盒

4.对应传送盒

传送盒:可收纳25片200mm晶圆的传送盒

5.可定位晶圆

  • (1)可在载入口SELOP-7中使用
  • (2)对应晶圆:200mm标准、及薄型晶圆

Operation Flow