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半導体搬送システム「ロードポート」

300mmFOUP対応ロードポート 300mmFOUP対応ロードポート

パソコンなどの精密機械に欠かせない半導体製造を支えます

ナノメートル単位の加工精度とパーティクルフリー(防塵)環境が不可欠な、半導体製造工程。シンフォニアテクノロジーは、クリーンルーム内搬送で培った豊富な実績を元に、高効率な生産プロセスをサポートしています。

とくに、大口径300mmFOUP対応ロードポートはウェハーの装置前搬送モジュールの世界のトップブランドとして高い評価をいただいております。今や現在人の生活に欠かせないパソコンなどの精密機械に無くてはならない半導体の製造現場を支えるのは、シンフォニアテクノロジーの技術です。

詳細は製品ページへ